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青岛晶诚 半导体微电子晶圆RCA清洗机 标准清洗机

产品价格99900.00元/台

产品品牌青岛晶诚

最小起订≥1 台

供货总量10000 台

企业旺铺http://qd13864858158.zhongshang114.com/

更新日期2023-07-12 14:24

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商品信息

基本参数
起订: ≥1 台
供货总量: 10000 台
有效期至: 长期有效
产品特性: 自动清洗
加工定制:
型号: JC-RCA01
用途: 半导体材料、集成电路、MEMS、LED芯片、功率器件等湿法清洗
别名: 标准清洗机
规格: 可定制
详细说明




设备名称 RCA清洗机 用途 晶圆的RCA清洗 操作方式 手动/半自动/自动 适用领域 半导体材料、集成电路、MEMS、LED芯片、功率器件等 适用工艺 SC-1、SC-2、SPM、BOE、超声(兆声)清洗、QDR等; 清洗方式 槽式清洗 可清洗尺寸 2吋---12吋晶圆 主体材质 全不锈钢框架,外包进口PP、PVC板 槽体材质 石英、PVDF、PTFE、NPP等 温控精度 ±1℃ 安全防护 自动安全门、漏液报警、漏电保护、液位保护、急停、声光报警系统 模块化设计 满足客户多种工艺及产能的定制化要求 可编程菜单,方便用户操作,直观 实时流程显示,可控性强 多级权限密码,方便管理,安全可靠 自动保存生产数据 可实现远程控制 可实现功能 (自动供液、自动补液、循环过滤)、在线加热、甩干、电导率检测、恒温系统、百级FFU等

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