谢客诚 大小石墨舟混线换夹具移栽桁架机器人 洁净移栽设备 关键词:石墨舟混线移栽,自动换夹具桁架,PECVD石墨舟转运,洁净换夹机械手,大小舟兼容移栽,低发尘移栽机构,硅片舟移栽 产品描述:适配光伏电池片千级洁净产线大小石墨舟混线生产,整机低析出密封传动结构,可按舟型自动切换配套夹具。桁架待机收纳于腔体间隙,伸入炉门前取放石墨舟,伺服运行平稳,减少粉尘污染硅片,满足镀膜洁净管控要求。 摘要:谢客诚(北京建艺科技)大小石墨舟混线自动换夹具移栽桁架,面向管式PECVD洁净混线工序开发。三轴桁架布置在工艺主机间隙,不占用前端片盒上下料通道,系统识别舟体规格后自动调用对应夹具完成抓取转运。传动组件防尘密封,降低异物颗粒,联动炉门信号互锁,稳定完成不同规格石墨舟混线流转,减少人工更换夹具带来的污染风险。联系人:谢顺来,联系号15313238906,联系微信:15313238906,




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