谢客诚 光伏陶瓷金属靶材重型薄片长行程重载桁架移栽机器人

光伏陶瓷金属靶材重型薄片长行程重载桁架移栽机器人 关键词：光伏靶材移栽,陶瓷靶材搬运,金属靶材转运,重载桁架机器人,靶材薄片移栽,长行程移栽机构,靶材腔体取料 产品描述：适配光伏陶瓷靶材、金属靶材重型薄片转运，桁架主体强化刚性结构，承载能力充足，支持长跨距工序输送。机构待机收纳于设备间隙，从前门伸入腔体取放靶材，伺服闭环控制抑制重载挠度变形，配套安全光栅与PLC硬联锁防护。 摘要：谢客诚（北京建艺科技）光伏陶瓷靶材、金属靶材重型薄片长行程重载桁架移栽机器人，面向靶材大重量薄片工序转运开发。三轴桁架布置在两台工艺主机间隙，不挤占前端上下料作业区域，Y轴悬臂伸入腔体拾取靶材工件。结构做重载补强，降低长行程下的形变与抖动，运动闭环定位稳定，和主机门控、周边机械手互锁，适配溅射靶材前后工序转运。联系人：谢顺来，联系号15313238906，联系微信：15313238906，