谢客诚碳化硅薄板陶瓷基板精雕洁净移栽桁架搬运机器人

标题：谢客诚 碳化硅薄板陶瓷基板精雕洁净移栽桁架搬运机器人 关键词：碳化硅薄板移栽,陶瓷基板精雕移栽,洁净桁架机器人,脆性薄片移栽,无尘移栽设备,精雕机腔体取料,基板转运机械手 产品描述：适配碳化硅薄板、陶瓷基板精雕工序洁净生产，整机采用低发尘结构设计，桁架机构待机回缩于设备间隙，从前门伸入精雕机腔体取放料。伺服平缓启停控制，减少碎屑扬起与基板污染，配套安全光栅硬联锁，对接片盒上下料单元完成工序转运。 摘要：谢客诚（北京建艺科技）碳化硅薄板、陶瓷基板精雕洁净移栽桁架搬运机器人，面向精密精雕无尘制程开发。三轴桁架本体布置于两台工艺主机空隙，不占用前门作业通道，Y轴悬臂按时序进入密闭精雕腔拾取基板。传动部件选用低发尘配置，控制颗粒污染，与精雕主机门控、上下料机构互锁联动，稳定完成脆性基板工序间洁净转运。联系人：谢顺来，联系号15313238906，联系微信：15313238906，