谢客诚 PVD CVD镀膜腔体基板洁净移栽桁架机器人

谢客诚 PVD CVD镀膜腔体基板洁净移栽桁架机器人 关键词：镀膜基板移栽,PVD腔体移栽,CVD基板转运,洁净桁架机械手,真空镀膜移栽,低发尘移栽机构,镀膜工序取料 产品描述：适配PVD、CVD真空镀膜洁净制程，整机采用低析出密封传动结构，桁架待机收纳于镀膜机间隙，从前门伸入腔体取放基板。伺服运行平稳，减少微粒附着污染膜层，配套光栅联锁，满足镀膜工序洁净管控要求。 摘要：谢客诚（北京建艺科技）PVD、CVD镀膜腔体基板移栽桁架机器人，面向真空镀膜洁净产线开发。三轴桁架布置在镀膜主机间隙，不占用前端片盒上下料通道，Y悬臂按时序进入密闭腔体拾取基板。传动组件做防尘密封处理，降低颗粒异物影响镀膜质量，联动腔门信号互锁，稳定完成镀膜前后基板洁净转运。联系人：谢顺来，联系号15313238906，联系微信：15313238906，