谢客诚 碳化硅高温烧结炉重型料架长行程重载桁架移栽机器人

谢客诚 碳化硅高温烧结炉重型料架长行程重载桁架移栽机器人 关键词：碳化硅烧结炉移栽,重型料架转运,炉膛料架移栽,重载桁架机器人,高温料架取放,长行程移栽机构,烧结工序移栽 产品描述：适配碳化硅高温烧结炉重型料架转运工况，桁架主体强化刚性结构，抵抗热辐射形变，长Y悬臂伸入炉膛完成料架取放。机构待机回缩于炉体侧边间隙，伺服闭环控制抑制重载挠度，搭配光栅防护，适配烧结前后料架稳定转运。 摘要：谢客诚（北京建艺科技）碳化硅高温烧结炉重型料架长行程重载桁架移栽机器人，面向第三代半导体烧结工位开发。三轴桁架布置在烧结炉与配套工位间隙，不占用炉口作业通道，加长Y悬臂按时序进入炉膛取放重型料架。结构做耐热与承重补强，降低长悬臂负载抖动，定位稳定，联动炉门信号，承接碳化硅烧结工序料架自动转运。谢顺来，联系号15313238906，联系微信：15313238906，