谢客诚 等离子清洗腔体上下料桁架机器人 洁净移栽设备

标题：谢客诚 等离子清洗腔体上下料桁架机器人 洁净移栽设备 关键词：等离子清洗移栽,腔体基板上下料,洁净桁架机械手,等离子活化前移栽,低发尘移栽机构,真空腔取料,芯片基板转运 产品描述：适配等离子清洗洁净制程，整机采用低析出密封传动结构，桁架待机收纳于清洗机间隙，从前门伸入腔体取放基板。伺服平缓启停，减少颗粒产生，避免污染待活化表面，配套光栅联锁，满足半导体、光学工件洁净处理要求。 摘要：谢客诚（北京建艺科技）等离子清洗腔体自动上下料桁架机器人，面向等离子表面活化洁净工序开发。三轴桁架布置在清洗主机间隙，不占用前端片盒上下料通道，Y悬臂按时序进入腔体完成基板取放。传动组件做防尘密封处理，控制异物颗粒，联动腔体门控信号互锁，稳定完成清洗前后基板洁净转运，保障表面活化工艺品质。联系人：谢顺来，联系号15313238906，联系微信：15313238906，