气浮转台主要由直驱力矩电机、气浮轴承和圆光栅反馈组成,结构扁平薄,提高定位性能。结构设计使工作点高度降低,减小系统误差影响。闭式气浮具有高轴向刚度和大承载能力。解决气浮轴抱死的问题。力矩电机固有的零齿槽效应和扭矩波纹折射,适合在各种速度下平滑地转动。
精度性能
同步轴向跳动误差和径向跳动误差10nm,摆角误差3μrad,负载1T,电动控制和手动转动跳动误差一致,使用寿命10年以上。
闭环反馈
气浮转台配置圆光栅闭环反馈,分辨率优于0.01arc sec,同时采用高性能控制系统,优化气浮结构,能精准回到零点位置。
定制化
可安装滑环,用于空间模拟装置,MEMS和惯性导航等应用。
精度指标





冀公网安备13010402002588