QFU-XY-CG三轴精密运动台

产品特点

  XY轴闭式气浮结构

  纳米级定位纹波

  亚微米级定位精度

  Z轴防蠕动交叉滚柱导轨

  优化线缆管理

  可定制化设计

结构特点

       XY轴为非接触、闭式气浮结构，气浮导轨四面均匀受力，相较于开式气浮结构，侧向气浮刚度更大，承载能力更强，模态更高，对于大体积、大负载及偏心安装等负载形式，更能突显其性能优势。Z轴为抗蠕动交叉滚柱导轨，滚柱间线接触，比滚珠接触面积大，交叉排列，多方向受力稳定，该结构可以把Z轴厚度降低，有利于行业应用。

精度性能

       XY轴气浮结构实现无摩擦和无振动地平滑移动，与摩擦式导轨相比，气浮台的直线度、平面度，Pitch Yaw指标得到了很大地提高，由于非接触式，伺服反馈的跟随误差有了质地提升。Z轴实现纳米级定位纹波。

线缆管理

       精心优化管线弯曲半径，防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮运动台的性能，使用高质量的线缆，以确保无故障操作。

规格指标