高精度气浮旋转平台

1. 核心工作原理

• 气膜形成：通过转台底部的精密气孔阵列（节流孔）喷射高压气体（0.3-0.8MPa），在转盘与底座间形成3-20μm厚度的气膜，实现非接触悬浮。

• 自平衡设计：气膜压力分布自动调节，保证转盘静态平衡（倾斜<0.1角秒）。

• 驱动方式：通常搭配无铁芯直驱电机（无齿槽效应）或摩擦轮驱动，避免引入机械振动。

2. 核心性能指标

3. 典型应用场景

• 光刻机：晶圆对准旋转（ASML设备中转台误差<0.01μm）。

• 光学加工：非球面透镜抛光（面形精度λ/20）。

• 惯性导航：激光陀螺仪标定（角速度误差<0.001°/h）。

• 计量检测：圆度仪基准转台（径向误差<0.02μm）。

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4. 选型对比：气浮转台 vs 其他转台