碳制精密吸附盘

产品描述：

● 防止晶片带电 

碳是一种优良的绝缘体 ，因不容易带电，所以工作被吸附后会接地 ，作为静电对策来说是有效的，最适合吸附厌静电的工作场景

● 适应高温环境  

通过把所有的零件材质全换成碳，最大限度地发挥碳出色的热特性，耐热温度在大气中为250°C，在惰性气体中为900°C 

● 耐热冲击性高

即使急热、急冷，也不会破损  ，陶瓷吸盘的抗热冲击性弱

● 稳定性强

由于同一材料构成，不易因热膨胀差引起的精度变化

●轻量化减少设备负担

与陶瓷吸附盘相比，可以减轻约40%的重量。

●发尘量低

几乎没有发尘，而陶瓷吸盘会持续发尘

●孔径小

孔径5um左右，对晶圆压力小

产品用途:

○半导体制造(后工序)设备分类

・晶片表面保护胶带粘贴用吸附台

・晶片表面保护胶带剥离用吸附台

・晶片检测装置用吸附台

・UV 照射装置吸附台

・晶片安装装置的材料处理真空卡盘

・晶片清洗装置的旋转头

○半导体制造（后工序）工序分类

・TSV 工序

・切割工序

・背面研磨工序