空气悬浮式主动型除振装置

小巧玲珑的MAPS 系列能应对全自由度的振动 

明立精机的MAPS系列产品的除振系统是在精巧的形状中加入垂直与水平用的气压驱动器而构成的组装型除振装置。使用1组4个的话，对应全自由度的振动，能发挥出优秀的除振性能、制振性能、定位性能等。 

MAPS 可以消除被动除振的困难频段的振动 

被动除振不时常有，因为固有振动而产生的共振问题的例子，如果进行主动化即可去除固有振动的共振。而且，也能获得在此频段的优秀除振性能。例如：在被动除振 不擅长的 2Hz 附近的低频振动领域中，比起被动除振，主动除振可以 将振动减小至 1/30 ～ 1/100 以下。

标准的MAPS可除振10吨以上的设备 

近年的精密设备伴随着功能 的充实，越来越倾向于大型化。总 重量超过10吨的设备已经被开发出来。因为设备的大型化很难保持设备自身的高固有频率，所以以前几乎不会成为问题的低频振动却变 得很容易影响设备。这个也是对于低频振动有优秀除振性能的主动型除振系统必需的一个理由。

MAPS 具有优秀的精确定位及精密校平性能 

设备变大的话，倾斜就会成为问题。由于设备自身很重，如果倾斜，自重会造成弯曲，对精度的显著影响就会出现。因为 MAPS是充分考虑精密校平性能后实行控制的，能抑制倾斜并能保持精度。其次，MAPS考虑精确定位后实行控制，能平顺地传递晶圆及LCD面板。