PFA/超纯水/光刻胶自动灌装设备 电子特气化学品包装机

产品概述

专为PFA、光刻胶、超纯水等超高洁净度材料定制。关键接触部件采用PFA内衬及特种防腐工艺，防止金属离子析出与二次污染。集成精密计量灌装、洁净充氮保护、自动旋盖，满足半导体光刻材料的纳米级洁净包装需求。

核心优势

1. PFA全接触面：灌装阀、管路、容器全PFA内衬，零金属离子
2. 纳米级洁净：Class 100洁净环境兼容，满足SEMI标准
3. 精密计量：高精度流量计+称重双校验，确保灌装精度
4. 洁净充氮：99.999%高纯氮气保护，防止氧化与污染
5. 防静电设计：全链路接地与离子风消除，保障安全

应用场景

1. 半导体光刻：ArF/KrF光刻胶的纳米级洁净灌装
2. CMP材料：抛光液、清洗液的高纯包装
3. 电子特气：前驱体、高纯气体的精密分装
4. 实验室：小批量高纯试剂的洁净分装

服务承诺

提供PFA材质证明与洁净度检测报告。设备在洁净车间完成装配与测试，现场安装时提供洁净施工指导。质保一年，PFA部件提供两年免费更换。

公司资质

金旺智能拥有600+人专业团队，300+技术人才，持续聚焦智能工厂与无人化解决方案。服务默克、晶久、TEDIA、金马等全球头部企业，品质获得国际客户一致认可。