IWAKI 易威奇低脉动风囊泵 全氟无颗粒半导体洁净制程专用泵

日本易威奇（IWAKI）风囊泵主要有 FS系列、FLP系列 和 KB系列，专为无金属污染的高纯度、强腐蚀性药液输送设计。

主要产品系列

• FS 系列：高速冲程、外型小巧的气动风囊泵，冲程率 240 spm，排出压力 0.5 MPa，过流部件采用 PTFE、PFA 等氟树脂，液体温度范围 5 ~ 180°C，适合半导体清洗与 CMP 工艺。
• FLP 系列：低脉动气动风囊泵，具备独特的系统驱动机制，可减少高达 30% 的压缩空气消耗量，无需安装阻尼器，在单晶圆处理中能维持稳定流量。
• KB 系列：结构简单的化学药液添加泵，采用无泄漏构造，适用于自动分析仪器、食品机械等小流量定量添加场合。

核心特点

• 洁净无污染：液体接触部分全为氟树脂材质，无金属暴露，防止金属离子污染。
• 安全监测：标配漏液传感器，可连接专用控制器管理流量。