日本 PILLAR 皮拉 PTFE 风囊泵 低脉动无金属析出 半导体光伏高纯耐腐蚀药液输送泵

日本 PILLAR（皮拉）风囊泵（又称波纹管泵）是一种采用氟树脂材质、由气动驱动的高纯度流体输送设备。其核心特点是接触液体部件全由 PTFE、PFA 等氟素树脂构成，具有极强的耐化学腐蚀性、耐热性与超高清洁度，广泛用于半导体清洗、CMP 研磨液输送及制药行业。

核心特点

• 超高耐腐蚀与纯净度：所有过流部件均为氟树脂，不含金属，可安全输送强酸、强碱及高纯化学品。
• 长寿命波纹管设计：波纹管弯曲处采用特殊 R 形设计，抗弯曲疲劳性能优异，每个波纹管均带独立序列号便于质量管理。
• 温度适应性广：分为中温型（通常适用 10~100℃）与高温型（可达 180℃）。

主要系列与型号

• PE 系列：标准中温与高温化学品循环输送泵，代表型号有 PE-5MA（8 L/min）、PE-20MA（32 L/min）、PE-10HB（高温型，16 L/min）等。
• PS-E 系列：集成低脉动设计的紧凑型泵，将泵与脉压调节器结合，减少流体脉动，流量覆盖 3 至 40 L/min。
• PK 系列：针对大流量工况设计的高效气动风囊泵，吐出量可达 100 L/min。
• PW 系列：具备高精度反复吐出能力的 PTFE 定量泵，适合化学药液充填与定量计量应用。