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产品品牌镭测科技
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更新日期2023-04-15 10:51
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| 有效期至： | 长期有效 |
| LH1000A频差： | 1.0±0.5 |
| LH1000B频差： | 2.0±0.5 |
| LH1000C频差： | 3.0±0.5 |
| LH1000D频差： | 4.0±0.5 |
| LH1000DL频差： | 5.0±0.5 |
| LH1000EL频差： | 6.0±0.5 |
Information in English:
LH1000 Dual-frequency Interferometer.pdf
Nonlinear error analysis and experimental measurement of.pdf
专为光刻机配套开发的高精度测量系统；
通过国家重大专项“大规模集成电路制造技术及成套工艺”项目验收。
采用直接输出线偏振光的双频激光器；
非线性高精密测量系统，测量更准确；
可提供1~20MHz频差内任意频差产品，满足各种测量速度需要。
光源和测量信号接收单元分体式设计，方便搭建XY位移台等多轴测量系统；
精巧的测量信号光纤接收头，即使空间狭小也能方便安装；
标准光刻机干涉仪安装尺寸和数据接口，可直接替换现有产品。
（欲了解更多单频与双频干涉仪的性能特点和差异，请阅览本网站解决方案栏目中的：双频激光干涉仪）
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