硅烷尾气处理系统

一种硅烷排废气处理系统，包括用于去除粉尘颗粒的燃烧器、用于去除含碱气体的燃烧塔，所述的燃烧器的出气口与所述的燃烧塔的进气口相连接，其特征在于：所述的燃烧器为硅烷燃烧器，所述的硅烷燃烧器，包括外桶体，所述的外桶体的侧壁上开设有进气口，所述的外桶体的底部具有排灰口，所述的外桶体内设置有内桶体，所述的内桶体的下端口与所述的外桶体相连通，所述的内桶体的上端口形成出气口，所述的内桶体的侧壁与所述的外桶体的侧壁之间形成旋风通道，所述的进气口开设在所述的外桶体形成所述的旋风通道的侧壁上；所述的硅烷燃烧器还包括进气管，所述的进气管具有入口和出口，所述的进气管的入口的开口大小大于所述的进气管的出口的开口大小，所述的进气管的出口与所述的外桶体的进气口相连通。