探针台 自动探针台 晶圆探针台 高温探针台 半自动探针台
微电子本科教学平台主要为微电子专业学生培养半导体器件物理的参数特性测试而设计的实验。通过测试Wafer裸芯片Die，学生可以掌握基本的MOSFET,BJT,DIODE等器件的电学性能及工作原理。
可以测试参数有：
IV参数：BVdss,Vth,Vgs,Ids,Rds输入输出特性曲线，转移曲线等
CV参数：Cox,t,Ciss，C-V特性曲线，QSCV,HFCV曲线，掺杂浓度等
测试平台：由Keysight B1500A半导体器件分析仪及MPS-150B手动分析探针台构成
冀公网安备13010402002588
