高纯水（High purity water）是指25℃时电导率小于0.1 μs/cm和残余含盐量小于0.3 mg/L，并去除了非电介质的微量细菌、微生物、微粒等杂质的水。制备方法有蒸馏、膜分离、离子交换和灭菌。主要用于电子和微电子工业，也用于造纸、电子、核工业等行业。

       水的纯度通常是以水中所含杂质的相对含量来表示的。但当水的纯度达一定水平后，水中的杂质总量已很少了，个别杂质的浓度更低，有些已不易检出。在这种情况下，常用水的电阻率来表示水的纯度。因为纯水中H+和OH-离子的浓度都是10-7 mol/L，其电导率很低，几乎不导电。而当水中含有某些杂质（如可溶性盐）时，由于杂质离子能导电，使其电导率迅速上升。因此水的电导率是与其纯度密切相关的。

      高纯水是化学纯度水，是指将水中的导电介质几乎全部去除，又将水中不离解的胶体物质、气体和有机物均去除至很低程度的水，其中杂质的含量小于0.1 mg/L，电阻率大于17.5Ω， pH在6.8～7.0之间，其中杂质含量低于0.01 mg/L。