产品价格￥1.00元/套
产品品牌武汉维科赛斯
最小起订≥1 套
供货总量1 套
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更新日期2024-11-30 11:15
15172507599 王经理
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| 起订： | ≥1 套 |
| 供货总量： | 1 套 |
| 有效期至： | 长期有效 |
| 库存数量： | 1 |
| 挡板类型： | 电控 |
| 产品： | 小型蒸镀仪 |
| 加热方式： | 数字式功率调整器 |
| 用途： | 实验室科研探究 |
| 输出电流： | 电流≤120A |
1.腔室尺寸：Ф246×228mm（具体尺寸以设计为准），1Cr18Ni9Ti不锈钢材质，氩弧焊接；
2.样品台尺寸：Ф100mm，高度：60～120mm可调，旋转：0-20r/min可调；可加热至300℃；
3.真空系统：机械泵（3L/S）+进口Pfeiffer分子泵(Hipace80,67L/s)；GDC-25b电磁挡板阀，DN63mm 限流阀；
4.极限真空：8.0×10-5Pa；
5.真空抽速：大气 ≤～10-5Pa；
7.磁控靶：Φ2英寸2只（含靶挡板），兼容直流电源和射频电源；
8.溅射电源：1台500W直流溅射电源和1台300W全自动匹配射频电源；
9.质量流量计：10sccmInficon SQM-160单水冷探头，精度，220V，单相三线制（一火一零一地）；
14.冷却循环系统：水压0.2～0.4MPa，水温10～25℃，给设备相关需水冷部件提供稳定的制冷水；
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