ALD高浓度臭氧系统:此设备应用ALD镀膜设备,使用300mg/L的臭氧浓度。用于太阳能电池N型 电池被钝化工艺,加速AL2O3的沉积速率
1、采用自主高浓度采用发生器。
2、多重自动化监测控制,双系统设计。
3、数字化仪表流量控制更加精准。
4、高精度冷却系统,设备运行更稳定。
5、可一拖一,一拖二。
太阳能光伏专用设备及辅助设备、非标自动化设备及备件销售、安装、调试;光伏技术服务及咨询;机械设备及配件销售;机械设备…
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更新日期2023-02-22 11:11
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999 台 |
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99元 |
材质: |
金属 |
ALD高浓度臭氧系统:此设备应用ALD镀膜设备,使用300mg/L的臭氧浓度。用于太阳能电池N型 电池被钝化工艺,加速AL2O3的沉积速率
1、采用自主高浓度采用发生器。
2、多重自动化监测控制,双系统设计。
3、数字化仪表流量控制更加精准。
4、高精度冷却系统,设备运行更稳定。
5、可一拖一,一拖二。
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