二手美国ZYGO带软件平面激光干涉仪 球面曲率半径激光干涉仪
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随着科技的进步,现代干涉测量技术具有量程大、精度高、分辨率高以及操作方便等优点,在各项领域得到了广泛的应用。根据ZYGO干涉仪测量方案构建了一个测量样品面形的实验光路,并对一系列样品进行测量,通过对标准镜与被测样品表面之间所夹空气层的干涉图像分析,可以得到被测样品的表面面形状况,并可以通过MetroPro软件直接读取波峰波谷值PV、均方值rms、矢高Power、干涉条纹图、截面面形高度图、面形厚度假色图等,测量精度达到仪器指标。本文研究测量原理,扩展ZYGO干涉仪对测量薄膜厚度和曲率半径的应用。
二手美国ZYGO带软件平面激光干涉仪 球面曲率半径激光干涉仪
主要参数1、干涉仪主机配计算机及操作软件,激光稳频,QPSI抗震移相,精度1/10 Wave(PV);
2、球面标准镜尺寸为6,精度为1/10 Wave(PV);
3、平面标准镜尺寸为6,精度为1/20 Wave(PV);
4、五维调整架(xy偏心,xy俯仰,z轴平移,绕z轴旋转)与自定心夹具配合,夹持尺寸为4;
5、精密直线导轨形成1m,小位移0.020 µm,精度±4.0 µm;
6、主动隔振光学平台,长/宽/高(mm)2400/1500/200,0.5-10HZ振动隔离
功能用途光学元件表面面形及光学系统透射波前像差测量
1、ZYGO GPI XP/D 型激光干涉仪
1)对准系统: 快速条纹采样系统(QFAS) (双光点定位于十字线)
2)放大范围: 6:1(非连续式放大,低失真)调整可视范围
3)尺寸:308 x 694 x 308 mm
4)重量:36 Kg
2、ZYGO原装MetroPro测量软件
1) Microsoft Windows XP专业版下运行的ZYGO MetroPro软件
2) 测量方法:激光三维相移干涉法
3) 测量功能:精密测量各种不同反射面或光学面的形貌及特性
3、6英寸标准平面镜头1个
4、计算机 :LENOVO PC主机一台;电脑液晶彩显两台,
性能参数:
1、测量重复性:1λ/300 (2σ )
2、RMS 重复性:2 λ/10,000 (2σ)
3、数据采样: 640x480 像素,8位
4、分辨率 gt;λ/8,000
5、条纹分辨率:180条纹
7、数据采样时间:低分辨率(7幅数据图像):93 ms ;高分辨率(13幅数据图像):173 ms
8、测量光束直径:102 mm