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更新日期2026-09-19 10:55
王经理
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| 产品名称：： | 电子项目-中科院苏州纳米所 |
| 产品分类：： | 电子项目 |
| 商家地址：： | 苏州 |
中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所张家港研究院外延平台项目：张家港纳米研究院车间一西侧1-2楼，半导体洁净厂房建设一层建筑面积约3300平米，二层建筑面积3300平米，地下室建筑面积约2996平米，其他建筑面积约889平米。其中净化等级ISO14644-1（国际标准）ISO Class5百级洁净室约200平米，ISO14644-1（国际标准）ISO Class7万级洁净室2300平米，高可靠不间断电源UPS、工艺冷却水、无油干燥压缩空气系统、工艺真空系统、半导体特气系统、大宗气体（氮气/氢|气）供应系统，大宗气体纯化系统，特气泄露报警监控系统、一般/酸碱/有机排气系统、废气处理系统、废水处理系统、半导体工艺所需纯水系统以及各个设备基础工程。http://www.szgscc.cn
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