特气管道阀门配件 洁净室BA EP级实验室供气管路减压阀调压器

高纯特气管道阀门及全套配件

半导体 / 光伏 / 面板 / 实验室供气系统专用组件本系列产品覆盖特种气体管路全配套元件，包含隔膜阀、波纹管阀、针阀、止回阀、减压器、过滤器、VCR/DISS/CGA 接头、阻火器、泄压阀、高压软管等全套配件。

产品采用 316L VAR 电解抛光、哈氏合金耐腐蚀材质，全程无尘清洗、真空烘烤、氦检，低析出、极低泄漏，适配易燃、自燃、剧毒、强腐蚀电子特种气体，广泛用于气瓶柜、VMB 分配箱、工艺设备供气系统。

核心部件包括

1.双级精密减压器

两级稳压，输出压力稳定，分 316L、哈氏合金、黄铜三种材质，适配不同腐蚀性气体钢瓶调压。

2.高纯金属过滤器

多级过滤精度可选，去除管路微颗粒，保护后端精密流量计与工艺设备。

3.高纯密封接头

VCR、DISS、CGA、双卡套四大系列，金属硬密封杜绝泄漏，不同气体专用接口防错装。

4.安全辅助配件

阻火器、高压波纹管软管、压力传感器、三通吹扫组件、拉断阀，完善整套供气安全防护体系。