工业真空控制器 半导体前驱体真空机组 防爆真空控制器

              工业真空控制器（防爆型）

北京爱科仪器设备科技有限公司生产的真空控制器，可根据客户需要选择各容量适用机型，并且对于工业需求制作防爆型满足客户多类型的需求

设备应用：

半导体ALD/CVD前驱体真空机组控制；

四(二甲 胺基)铪 TDMAHf  四(二甲 胺基)锆 TDMAZr  四(二甲 胺基)钛 TDMATi

 二甲 基硅基 叔 丁胺 四甲 基环戊 二烯 二甲 基钛

1.合成反应：全程惰性气体保护+真空置换（防水解、氧化）

2.减压精馏：

- TDMAHf：80–85℃ / 2–5mmHg 馏分

-低温提纯、避免高温分解、除溶剂/杂质

3.真空干燥：除微量水/溶剂，防产品吸潮失效

4.真空封装/充装：不锈钢鼓泡瓶/安瓿瓶，真空+充氩密封

5.检测（TGA/蒸气压）：高真空下测热稳定性与挥发特性

医药催化剂/lin配体真空减压提取。

钯/铑/钌催化剂、lin 配体（如二环己基 lin类）

-   合成：真空脱溶剂、减压蒸馏提纯

-   后处理：真空干燥除水/残留有机溶剂

- 包装：真空/惰性气体封装防氧化失活

多段压力曲线：置换→粗抽→精抽→稳压→破真空，时序+联锁

- 安全联锁：超压/泄漏/过热自动停机、报警、紧急破真空

- 数据追溯：压力-时间曲线记录，半导体级品质追溯