高真空插板阀

　　高真空插板阀，含单密封和双密封真空阀类型，适用于超高真空系统切断或接通气流，工作介质为洁净空气与腐蚀性气体。采用触摸屏加实体按钮操作，有开、关、停止、急停等控制功能，现场有醒目运行及故障报警指示，可实现远程/本地控制切换与互锁。单双密封阀各有独特工作原理实现真空密封。口径范围DN100 - DN4000，适用范围3.5x10 - 6Pa - 1.0x105Pa，阀体和阀座泄漏率≤5.3x10 - 7Pa.L.s - 1，阀体适用温度≤150℃，气源压力0.35 - 0.8Mpa，是高真空系统的优质选择。

　　一、高真空插板阀的工作原理

　　高真空插板阀分为：单密封真空阀、双密封真空阀，适用于超高真空系统中切断或接通气流之用。适用的工作介质为洁净的空气以及腐蚀性气体。采用触摸屏+实体按钮操作，实现阀门的开、关、停止、急停等控制功能。同时为便于现场人员发现和排除故障，每套阀门的控制系统现场都有醒目的运行及故障报警指示。可实现远程/本地控制切换、互锁功能。

　　单密封真空阀：电机通电后通过过扭保护联轴器带动滚珠丝杠转动，丝母连接固定在框架组件上，滚珠丝杠带动丝母及框架组件做直线运动。将安装在阀板上的密封件压紧在阀体下板的密封面上，实现真空密封；

　　双密封真空阀门：电机通电后通过过扭保护联轴器带动滚珠丝杠转动，丝母固定在框架组件上，滚珠丝杠带动丝母及框架组件做直线运动，框架组件通过上下各八组四连杆机构与两个阀板连接，当阀板通过框架组件的运动到达密封位置时，将两个阀板上的密封件同时压紧在阀体上、下板的密封面上实现真空双密封；