白光干涉仪

       白光干涉测量专用于非接触式快速测量，精密零部件之重点部位的表面粗糙度、平面度、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、面形轮廓及台阶段差尺寸，其测量精度可以达到纳米级！

技术特点

白光干涉作为一种广泛应用的三维表面形貌测量技术，其纵向分辨率可达到亚纳米级别。

视场内信息采集与数据处理同时进行，大面积区域的高度信息采集时间短。

多用于科学研究与质量管理领域，典型应用包括不同表面粗糙度样品的三维表面形貌测量（如晶片结构、镜面、玻璃与金属）、台阶高度测定和曲面精度测量（如微型透镜）。

Smart系列白光干涉三维轮廓仪创新性地整合白光干涉技术，自主研发的SmartWLI 软件可以对整个测量过程进行监测与控制。

其核心算法基于长期研发与测量经验，具备高效、稳定、精度高等特点。

SmartWLI软件，用于形貌测量及通过直接接口输出三维数据进入MountainsMap图片形貌图片处理软件，包括文件编制MountainsMap图片形貌软件，用于图片处理，数据分析与生成报告。

广泛的运用领域：

白光干涉优势特点： 

1， 非接触测量 ：      非接触三维表面轮廓测量。

2， 重复性好：           噪音小，测量重复性好。

3， 纳米级分辨率：    Z轴分辨率可达0.1nm

4， 点云数量多：       测量的点云数多：一个面可以达到500万个点。

5， XY分辨率小：      点间距小，XY分辨率高，大范围内可高精度测量。

6， 视野范围大：       多种视野范围可供选择，快速切换物镜变换视野。

7， 测量速度快：       采集速度、处理和输出数据速度快。

8， 可在线测量 ：          测量速度快，可实现在线高速检测。

9， 角度特性好：       超越传统角度极限，可以测量更大倾斜角的产品，漫反射面可测接近90度的斜面。

10，软件功能强大：    软件包MountainsMap强大的分析软件功能可用于复杂的测量任务，如粗糙度，表面结构，微观几何形状和轮廓。 自动化有多种选择：可使用SDK，I/O模块和几条工业产线解决方案。