处理气量：（1-200）Nm3/h
压力：≤1.0Mpa
氩气纯度：≥99.999％
露点：≤-70℃
含氧量：≤1.5ppm
含氢量：≤0.5ppm
含氮量：≤4ppm
ΣCH≤1ppm
广泛应用于：
熔硅单晶炉配套使用，激光器、溅射、半导体生产，气相色谱仪、特殊灯泡稀有金属加工等需要用高纯氩气的有关科研和生产部门。
高纯氩气纯化设备、氩气纯化装置、氩气净化装置
原料气可以是液氩，瓶装氩气等，针对原料氩气的成分不同，可定制多种净化方案。提纯过程有催化脱氧、冷却冷凝、吸附脱水、深度净化炉等工艺，保证客户的不同需求。
技术特点
采用净化炉脱除杂质气体，效果可达产品气纯度99.999%。
采用you质分子筛，产品氧气含湿量≤-70℃露点。
采用gao效烧结过滤器，除尘后分子粒度≤0.1μm。
纯化工作气体压力范围0.2-5.0MPa，并能适用于压力波动气体。
原料气采用先进工作流程，温度控制安全可靠。
撬装设备，安装方便，结构紧凑，维修简单。
MGYa 1-200 型高纯氩气纯化设备 | |||||||||||
规格型号 | MGYa1 | MGYa2 | MGYa5 | MGYa10 | MGYa20 | MGYa40 | MGYa60 | MGYa80 | MGYa100 | MGYa200 | |
处理量Nm3/h | 1 | 2 | 3-5 | 6-10 | 15-20 | 30-40 | 50-60 | 70-80 | 90-100 | 150-200 | |
工作压力MPa | ≤1.0 | ≤1.0 | ≤1.0 | ≤1.0 | ≤1.0 | ≤1.0 | ≤1.0 | ≤1.0 | ≤1.0 | ≤1.0 | |
去除杂质 | 除氢 | ü | ü | ü | ü | ü | ü | ü | ü | ü | ü |
除碳 | ü | ü | ü | ü | ü | ü | ü | ü | ü | ü | |
除氧 | ü | ü | ü | ü | ü | ü | ü | ü | ü | ü | |
除氮 | ü | ü | ü | ü | ü | ü | ü | ü | ü | ü | |
除水 | ü | ü | ü | ü | ü | ü | ü | ü | ü | ü | |
产品气 | 含湿量-露点(℃) | ≤-72 | ≤-72 | ≤-72 | ≤-72 | ≤-72 | ≤-72 | ≤-72 | ≤-72 | ≤-72 | ≤-72 |
含氧量(ppm) | ≤1.5 | ≤1.5 | ≤1.5 | ≤1.5 | ≤1.5 | ≤1.5 | ≤1.5 | ≤1.5 | ≤1.5 | ≤1.5 | |
含氮量(ppm) | ≤4 | ≤4 | ≤4 | ≤4 | ≤4 | ≤4 | ≤4 | ≤4 | ≤4 | ≤4 | |
含碳量(ppm) | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | |
含氢量(ppm) | ≤0.5 | ≤0.5 | ≤0.5 | ≤0.5 | ≤0.5 | ≤0.5 | ≤0.5 | ≤0.5 | ≤0.5 | ≤0.5 | |
控制方式 | 手动or自动 | 手动or自动 | 手动or自动 | 手动or自动 | 手动or自动 | 手动or自动 | 手动or自动 | 手动or自动 | 手动or自动 | 手动or自动 | |
外型尺寸 | 0.6×0.6×1.6 | 0.6×0.6×1.6 | 1.2×1.0×1.8 | 1.5×1.0×1.8 | 1.8×1.0×1.8 | 2.2×1.2×2 | 2.4×1.2×2 | 2.4×1.6×2 | 2.4×2×2 | 3.0×2.2×2.5 | |
装置重量(t) | 0.2 | 0.3 | 0.4 | 0.5 | 0.6 | 0.7 | 0.8 | 1.0 | 1.2 | 2.0 | |
可以根据客户要求定制 | |||||||||||
冀公网安备13010402002588