高浓度臭氧DI清洗系统

高浓度臭氧DI清洗系统：此设备应用于PERC、TOPCON、HJT等单晶植绒工艺，使用浓度260-300mg/L的臭氧浓度，通过混合器，反应罐等部件可以使臭氧融入到纯水当中，水中臭氧浓度可以达到80PPM以上的浓度。 

               1、采用新一代板式臭氧发生器系统、高浓度可达80PPM以上。

               2、新一代的浓度检测系统，采用双紫外光检测+蓝宝石材料，检测更稳定。

               3、采用耐腐蚀的稳定材料、长期稳定运行无易损件，降低客户的使用成本。

               4、独特的混合器设计，混合更均匀。

               5、双级混合塔设计，大幅度减少臭氧水浓度升高的等待时间。

               6、全自动控制系统，设备运行更稳定。

               7、针对半导体和光伏行业配套设计。

               8、多重安全保护设计，设备运行更稳定。

               9、可一拖一，一拖二。