半导体分立器件是组成集成电路的基础,包含大量的双端口或三端口器件,如二极管,晶体管,场效应管等。 直流I-V测试是表征微电子器件工艺及材料特性的基础,通常使用I-V特性分析或I-V曲线来决定器件的基本参数。
分立器件I-V特性测试的主要目的是通过实验帮助工程师提取半导体器件的基本I-V特性参数,并在整个工艺流程结束后评估器件的优劣。在半导体制程的多个阶段都有应用,如金属互连,镀层阶段,芯片封装后的测试等。
普赛斯仪表开发的半导体分立器件I-V特性测试方案,由一台或两台源精密源测量单元(SMU)、夹具或探针台、上位机软件构成。以三端口MOSFET场效应管为例,配套以下设备:
高精密源表IV测试MOSFET管需要几台源表?搭建方案示意图?
①、三极管测试时一台加在基极与发射极之间,一台加在集电极与发射极之间;MOS管测试时一台加在栅极与源极之间,一台加在漏极与源极之间;需要使用两台直流源表同步触发使用,或使用插卡式直流源表;
②、三极管的基极及MOS管的栅极一般耐压值较低于30V,基于Z高性价比考虑,其中一台使用S100即可,另一台根据三极管的集电极或MOS管的漏极耐压而定;
高精密源表IV测试MOSFET管特点和优势:
基本满足绝大部分场景应用的精度;
标准的SCPI指令集;
尤秀的性价比;
良好的售后服务与技术支持,详询一八一四零六六三四七六




冀公网安备13010402002588