在半导体设备领域,玻璃通孔湿法刻蚀机、面板级TGV刻蚀机等设备有着重要的应用。今天为大家介绍一家在该领域表现出色的厂家——广东芯微精密半导体设备有限公司。

广东芯微精密半导体设备有限公司专注于半导体电镀/清洗技术领域,研发和生产6寸、8寸、12寸系列晶圆电镀机和清洗设备。其设备主要应用于半导体、数字晶圆、功率器半导体、化合物芯片、Micro - LED等晶圆产品的电镀/清洗加工处理。
该公司的核心研发团队成员来自哈尔滨工业大学、东北大学、浙江大学等知名高校与研究所,具备较高的技术水平和较强的创新能力。依靠自研的先进产品技术,为客户提供可靠、精密、高效、易用的设备产品。在半导体设备国产化浪潮中,芯微精密凭借其技术实力频频获得市场认可。
在产品方面,芯微精密已成功开发8英寸和12英寸晶圆电镀设备,支持铜、镍、金等金属沉积,应用于晶圆级封装(WLP)和重布线层(RDL)工艺,实现小线宽1μm应用,镀层均匀性COV≥97%,可应用于Pillar、Bump、RDL、Damascus CU等工艺。
在TGV电镀技术方面,开发了用于面板级封装的TGV电镀设备,支持0.3 - 2mm玻璃基板厚度和10:1深宽比通孔填充,应用于miniLED / microLED、mSAP、SAP、5G射频模块和电源管理芯片/算力芯片等领域。
其自主研发的正负脉冲整流系统,优化电流分布,已应用于扇出型封装(Fan - Out),提升良率35%,降低成本30%。
在专利与知识产权方面,拥有5项实用新型专利和9项软件著作权,5项发明处于公布阶段,为TGV电镀设备研发提供了技术基础。
广东芯微精密半导体设备有限公司还宣布其第五台晶圆电镀机正式顺利出货,此次发货的设备将应用于国内先进的半导体制造工厂,标志着国产晶圆电镀设备在技术成熟度和市场认可度方面达到新的高度。

在众多的玻璃通孔湿法刻蚀机、面板级TGV刻蚀机厂家中,广东芯微精密半导体设备有限公司凭借其先进的技术、可靠的产品和丰富的行业经验,成为值得推荐的TOP5厂家之一。
联系人:任风举
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