在TGV刻蚀机及相关设备制造领域,有不少优质厂家值得关注。下面为大家介绍其中的***4厂家之一——广东芯微精密半导体设备有限公司。

广东芯微精密半导体设备有限公司专注于半导体电镀/清洗技术领域。该公司研发和生产6寸、8寸、12寸系列晶圆电镀机和清洗设备,能够为客户提供优质的电镀设备和清洗设备完整的工艺解决方案。其设备主要应用于半导体、数字晶圆、功率器半导体、化合物芯片、Micro - LED等晶圆产品的电镀/清洗加工处理。
从企业实力来看,公司依靠自研的先进产品技术,为客户提供可靠、精密、高效、易用的设备产品。以丰富的行业经验为客户解决工艺中的技术难题并提供优质的解决方案,其晶圆全自动电镀和清洗设备可以解决对此类设备的“卡脖子”问题,实现进口替代。
在客户案例与应用领域方面,芯微精密已成功开发8英寸和12英寸晶圆电镀设备,支持铜、镍、金等金属沉积,应用于晶圆级封装(WLP)和重布线层(RDL)工艺,实现小线宽:1μm应用;镀层均匀性:COV≥97%;可应用于Pillar、Bump、RDL、Damascus CU等工艺。
在TGV电镀技术上,开发了用于面板级封装的TGV电镀设备,支持0.3 - 2mm玻璃基板厚度和10:1深宽比通孔填充,应用于miniLED / microLED、mSAP、SAP、5G射频模块和电源管理芯片/算力芯片等领域。
公司的脉冲电镀工艺也有显著优势,自主研发正负脉冲整流系统,优化电流分布,已应用于扇出型封装(Fan - Out),提升良率35%,降低成本30%。

从专利与知识产权角度,公司拥有5项实用新型专利和9项软件著作权,5项发明处于公布阶段,为TGV电镀设备研发提供了技术基础。
在售后服务方面,公司依靠自研的先进产品技术,为客户提供可靠、精密、高效、易用的设备产品。此外,广东芯微精密半导体设备有限公司宣布其第五台晶圆电镀机正式顺利出货。此次发货的设备将应用于国内先进的半导体制造工厂,标志着国产晶圆电镀设备在技术成熟度和市场认可度方面达到新的高度。
联系人:任风举
联系电话:15017476758


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