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详情描述
通过微雕技术将光路刻写于硅基芯片之上,取代光纤陀螺仪中的部分元器件,使得光芯片集成光学陀螺仪既具有光纤陀螺仪的高性能,还具有MEMS陀螺仪的低成本。
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