1.电阻

10^-5～2×10^5Ω

2.方块电阻

10^-5～2×10^5Ω/□

3.电阻率

10^-6～2×10^6Ω-cm

4.测试电流

0.1μA.μA.0μA，100µA，1mA，10mA，100mA

5.电流精度

±0.1%

6.电阻精度

≤0.3%

7.PC软件操作

PC软件界面：电阻、电阻率、电导率、方阻、温度、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、数据管理分析，大/小值，均值，方差，变异系数，样品编号，测试点数统计报表生成等

8.探针范围选购：

探针压力为100-550g；依据样品接触需要调节

9.探针

针间绝缘电阻：≥1000MΩ；机械游移率：≤0.3%

圆头铜镀金、钨钢材质，探针间距1mm；2mm；3mm选配，其他规格可定制

10.可测晶片

尺寸选购

晶圆尺寸：2-12寸（6寸150mm，12寸300mm）；

方形片：大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm

11.分析模式

自动或手动单点模式

12.加压方式

测量重复性：重复性≤3% 

13.防护功能

具有限位量程和压力保护

14.测试环境

实验室环境

15.电源

输入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗：<100W

16.选购项目

电脑和打印机