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    半导体石墨制品选的材料

    2024-09-04

    一、电子器材烧结

    石墨制品可用在各种类型的可控硅管、三极管和二极管等器材的管心烧结,如果选用高频炉区熔法拉制单晶时,还选用石墨舟。

    二、绝缘子烧结模具

    石墨模适用于电容器绝缘子烧结;厚膜及薄膜集成电路绝缘子烧结;各种类型的三极管、硅整流管、可控硅管座的烧结;超小型继电器、接插件等元件绝缘子烧结模具等。


    半导体工业要求的石墨材料要求特别高的,颗粒度细的石墨具有精度高,且耐高温、高强度、损耗小等优点,比如:烧结用的石墨制品模具。由于半导体行业使用的石墨设备(包括加热器及其烧结模具)都是需要承受反复的加热和冷却过程,为了达到延长石墨设备的使用寿命,通常要求所使用的石墨材料都具有性能稳定和耐热冲击功能。为了达到上述的各种要求,我国现在也研发出了一系列适用于半导体行业所需要的石墨材料。


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