安徽科幂仪器

高压釜、高温炉、固定床、实验室反应釜、反应釜定制、微型反...

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单温区PE-CVD系统
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产品品牌: 科幂仪器
地址: 安徽省合肥市经开区双龙路与望客路交口

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主营产品:高压釜、高温炉、固定床、实验室反应釜、反应釜定制、微型反应釜、催化剂评价装置...

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  • 质保 一年
  • 是否现货
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产品特点

高性能射频电源.等离子体更稳定;滑轨式结构能使整个反应腔室都处于辉光产生区.

可实现快速升温和降温功能;与传统CVD相比较.生长温度更低。

 

TFE - 1200 - 50 - 220

可达温

1150℃(短期)

额定温度

1100℃

推荐升温速率

10℃/min

控制精

±1℃

炉管尺

Φ30/50/60*1200mm

炉膛尺

Φ80*220mm

加热区长

220mm

恒温区长度

80mm

热元件

产电阻丝

额定功率

3KW

供气系统

路高精度MFC 量程0-500sccm(可定制)

频电源

射频功:5-500W;射频频:13.56MHz;匹配方式:自动匹配

真空系统

级旋片真空泵(可定制扩散泵 分子泵等)

外形尺寸

1250*510*810mm

 


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