半导体实验室供气安装 气体管路安装 半导体特气管道施工

实验室气瓶间气路铺设标准

1.输送干气体的管道应水平安装。输送湿气体的管道应具有不小于0.3%的坡度，并倾斜至冷凝水收集器。

2.氧气管道和其他气体管道可敷设在同一框架上，间距不小于0.25米，氧气管道应在氧气管道以外的其他气体管道上方。

3.管道与其可燃气体管道平行敷设时，其间距不得小于0.50m交叉敷设时，间距不应小于0.25米 分层敷设时，管道应位于上方。室内管道不应铺设在沟渠中或直接掩埋。不要穿过不适合的房间。

4.气体管道不应与到店的电缆和线路铺设在同一框架上。

5.气体应采用无缝钢管。气体纯度大于或等于99 气体的管道应为不锈钢管、铜管或无缝钢管。

6.管道和设备的连接部分应使用金属管。对于非金属软管，应使用聚四氟管和聚氯管代替乳胶管。

7.阀门和附件材料:和气体管道不得使用铜材料。其他气体管道可由铜、碳钢、可锻铸铁和其他材料制成。