晶圆洁净烘箱  不锈钢百级烤箱  光刻胶坚膜烘箱技术指标

 内箱材质：SUS304镜面不锈钢；

外箱材质：优质冷轧板喷塑；

无尘等级：Class 100;     

温度范围：RT+10～250℃；
 温度均匀度：≤±1.5%;    

温度波动度：±0.5℃（空载）；        
 温控精度：±0.1℃;

进风口：φ8mmN2进气、流量计控制;  

排风口：φ100mm排风管;

工作室尺寸：W675×L860×H600（mm）；    
 电源：380v/50Hz，8.5KW；  

网板：2-9层；

洁净度：class100级

晶圆洁净烘箱  不锈钢百级烤箱  光刻胶坚膜烘箱温度控制器：

1、4.3吋彩色触摸屏；

2、两种控制方式：定值/程式；

3、传感器类型：PT100

4、报警信号：16条报警输入（DI），可编辑名称；

5、温度测量范围：-20.00℃-400.00℃（可定制）误差±0.3℃；

6、界面语言类型：中文/英文；

7、通讯接口：RS232/RS485

 8、程式编辑：可编120组程式，每组程式为100段

  洁净烘箱，百级洁净烤箱用于半导体制造中硅片、、铌锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤；也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、、实验室等生产及科研部门；也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。