PECVD系统的气源几乎都是由气体钢瓶供气，这些钢瓶被放置在有许多安全保护装置的气柜中，通过气柜上的控制面板、管道输送到PECVD的工艺腔体中。在淀积时，反应气体的多少会影响淀积的速率及其均匀性，恒歌PECVD气体扩散分布器用于PECVD系统中，控制均布气体流量，去除过滤气体流路中的杂质。不锈钢材质，高强度高硬度，耐腐蚀，高精度，过滤效率高，可反复清洗后使用。可应用于气体pecvd系统、纯水EDI/RO反渗系统、高温烟气厂气体净化系统、惰性气体系统、医用气体系统、气体内能系统等。

不锈钢滤芯特点

结构稳定，不掉渣造成原液，碎渣对机械设备造成损坏
外观精美，通过恒歌独特的无缝一体化烧结而成，外表进过特殊抛光工艺使产品外观光亮且无毛刺
内部孔隙率高，孔径分布合理且均匀可实现气体液体过滤
机械强度高，刚性好，塑性良好
过滤精度高（0.2~120微米）可按照设备需求定制不同精度

恒歌有专业的技术团队提供技术支持，可按需定制、来图来样设计定制产品。

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张小姐17841038858