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VPCTL系列和UHVPCTL系列高精度真空位移台,采用交叉滚子导轨,自带真空专用增量式光栅尺,配合真空步进电机,可实现高精度直线运动,配合自主研发的控制器实现闭环控制,非常适用于真空环境的精密运动领域。

产品特点 Product Features

●超高精度

●带自锁

●光栅尺闭环控制

●限位开关行程可调

●兼容真空环境

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