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HMDS预处理机 智能HMDS真空烘箱 提供HMDS烘箱样机

产品价格89690.00元/台

产品品牌隽思

最小起订≥1 台

供货总量689568 台

企业旺铺http://qd13296069603.zhongshang114.com/

更新日期2025-06-26 13:14

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商品信息

基本参数
起订: ≥1 台
供货总量: 689568 台
有效期至: 长期有效
是否进口:
产地: 上海
加工定制:
型号: H-2
功率: 2800
材质: 不锈钢
温度范围: 200
主要用途: 疏水处理
详细说明

HMDS预处理机  智能HMDS真空烘箱  提供HMDS烘箱样机作用

HMDS(六甲基二硅氮烷)为半导体应用的光刻胶粘合促进剂。

     HMDS烘箱将六甲基二硅胺烷HMDS气相沉积至半导体制造中硅片、lnP、GaAs、铌锂LiNbO₃、硫化锌ZnS、掩膜版玻璃、石英片、蓝宝石、晶圆、碳化硅等第三代、第四代半导体材料表面后经系统加温,它成功地将硅片表面由亲水变为疏水,其疏水基可很好地与光刻胶结合,起着偶联剂的作用。

HMDS预处理机  智能HMDS真空烘箱  提供HMDS烘箱样机技术性能

处理产品:2-12寸晶圆及方片均可兼容(可定制)

材质:内箱采用 316L 级不锈钢

温度范围:80-200℃

真空度:≤1torr

工艺数量:5个工艺设定并保存

操作界面:智能型彩色人机界面,一键完成工艺

真空泵:无油涡旋真空泵(或旋片油泵)

HMDS预处理机  智能HMDS真空烘箱  提供HMDS烘箱样机其他功能


HMDS低液位报警提示功能

工艺数据记录功能

脱水烘烤

温度保护程序锁定保护

图形反转功能

HMDS泄漏报警提示功能


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