HMDS预处理系统 智能型HMDS真空烘箱在超薄铌锂材料的应用

     铌锂具有出色的光电特性，作为一种集成光子平台，受到广泛关注。在此基础上，各种功能光子器件，如电光调制器和非线性波长转换器，已经展现出令人瞩目的性能。与此同时，基于铌锂薄膜的激光器和放大器作为集成光子系统的重要组成部分，也取得了一系列令人振奋的突破和进展。

  铌锂材料将引领未来片上集成光路的变革。随着全球经济数字化浪潮的推动，智慧城市和数据中心的建设与光子芯片的研发和生产密切相关。铌锂材料可用于制备集成激光器、放大器、变频器、电光调制器、光电探测器等关键光子器件，促进了光通信、激光雷达、粒子传感、信息处理等领域的快速发展。未来，更多类型的高集成、多功能LNOI芯片将走向产业化，片上集成光路领域也将迎来数字经济时代的新发展机遇。"

HMDS预处理系统  智能型HMDS真空烘箱在超薄铌锂材料的应用

将HMDS气相沉积至半导体制造中硅片、、铌锂、碳化硅、玻璃、蓝宝石、镀金晶圆等材料表面后，经系统加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水，其疏水基可很好地与光刻胶结合，起着偶联剂的作用。

HMDS预处理系统  智能型HMDS真空烘箱在超薄铌锂材料的应用技术性能：

内尺寸：300×300×300，450×450×450，550×550×550（mm）（可定制）

温度范围：RT+50-200℃

真空度：≤1torr

控制方式：人机界面，一键运行

真空泵：无油涡旋真空泵

HMDS预处理系统  智能型HMDS真空烘箱在超薄铌锂材料的应用（JS-HMDS90-AI）特点：

HMDS泄漏报警提示功能

HMDS低液位报警提示功能

工艺数据记录功能

管道预热功能

程序锁定保护等功能