无尘烘箱 百级无尘烘箱 充氮无尘烤箱 坚膜烘箱

温度波动度

±0.5℃

温度均匀度

≤±2℃

温度过冲

≤5℃

工作室尺寸（单腔）

根据要求定制

洁净度（class）

100級（符合FED-STD209E 标准）

功率

根据内部尺寸而定

气流控制方式

强制循环通风，控制系统根据设定之温度点通过PID 自动运算输出的结果去控制加热器的输出量，最终达到平衡

气流循环装置

内置空调间、循环风道及通风电机

加热方式

优质不锈钢加热器

隔板

每个腔体配二个隔板，用不锈钢板冲孔制成

箱体外壁材料

冷轧钢板静电喷塑

箱体内壁材料

为不锈钢板内壁氩弧焊（SUS316 或SUS304）

保温材料

优质超细纳米玻璃棉

氮气接口

能将箱内空气排出，确保烘烤的硅片是在氮气中进行；氮气流量计需安装在箱体的正面，进气口安装在箱体的后部，

电磁门锁功能

有定时开启门锁功能，设备装有电磁锁和定时器，设备运行时电磁锁动作将门锁住，当定时时间到后电磁锁断电将门打开，同时进行声光提醒（注：定时器只控制电磁锁和声光提醒器，不需控制加热器和电机）。设备还装有自动/手动定时开关，可在不需定时的时候手动开启电磁锁（定时器具有复位功能

超温保护装置

采用独立的超温保护装置，确保温度不超限；当保护装置动作时自动切断加热电源并进行声光报警、超温保护控制仪采用LED 显示控制器

计时方式

温度达到工艺设定值时开始计时，并在计时结束时有蜂鸣提示

排风口

直径50mm的排风口,安裝有调节阀

腔门密封性

密封条耐高温>300℃

接地安全

安全保护，接地线

电气安全保护

风机过载保护;加热系統超溫保护

MES接口

MES接口,可连接MES系統

管理生产单元有关的记录和表格，包括工作指令、配方、工程图纸、标准工艺规程、零件的数控加工程序、批量加工记录、工程更改通知以及班次间的通讯记录，并提供了按计划编辑信息的功能。

能通过数据采集接口来获取生产单元的记录和表格上填写的各种作业生产数据和参数。

提供工件在任一时刻的位置和状态信息。其状态信息可包括：进行该工作的人员信息；按供应商划分的组成物料、产品批号、序列号、当前生产情况、警告、返工或与产品相关的其它异常信息。

以作业、订单、批量、成批和工作单等形式管理生产单元间工作的流动。