洛阳西格马电炉
SGM.T60/12-真空管式CVD为实验室用小型CVD管式炉，小型CVD管式炉有T60/12管式炉、真空系统、3路混气系统组成。
小型CVD管式炉主要为高等院校、科研院所、工厂企业等行业实验室提供小型CVD管式炉高温热处理环境，可应用于金属材料、石墨材料、锂电材料、晶体材料等新材料领域。
结构特点
1、一体式结构，美观、大方，占用空间小。
2、炉膛材料选用高纯氧化铝陶瓷纤维材料，新型拼装结构，高温不变形、坚固耐用
3、 炉管采用石英管或者刚玉管，不锈钢法兰设计简单、合理、易拆卸，方便进出烧结样品
4、 升温速度快，从室温升到1000摄氏度，一般需要15-30分钟
5、 采用厦门宇电或日本岛电温控仪表，控温精度高，冲温小，具有温度补偿和温度校正功能，精度为±1℃
6、 控温仪表具有程序功能，可设定升温曲线，可编程序30个程序段
7、 电子元器件均采用产品，带有漏电保护功能，安全可靠
8、 本机对工作过程中的超温会发出报警信号，并自动完成保护动作
9、当仪表程序设定完成后，只要按下运行按钮，接下来的工作会自动完成
10、气路系统可选择一路或三路气体质量流量计，带混气系统也可单进单出，通入气体数字精度控制，流量开关和流量时间等程序可通过触摸屏自动控制，实现气路控制无人值守；精度:±1%F.S,响应时间:≤4sec
11、真空系统采用一台旋片式真空泵或真空机组，真空度测量采用数字复合真空计也可选择皮拉尼真空计，测量仪表集成在温控面板上，方便易操作
小型真空管式CVD
型号 | SGM.T40/12 | SGM.T60/12 | SGM.T80/12 | SGM.T100/12 | SGM.T120/12 |
炉管尺寸 | Φ40x800mm | Φ60x800mm | Φ80x800mm | Φ100x800mm | Φ120x800mm |
额定温度 | 1200℃ | ||||
工作温度 | 1100℃ | ||||
加热区尺寸 | 300mm | ||||
电源电压 | 220V/1.8KW | 220V/2.6KW | 220V/2.6KW | 220V/2.6KW | 220V/5KW |
加热元件 | HRE合金电阻丝 | ||||
炉膛材料 | 湿法真空抽滤成型制备的多晶无机氧化铝陶瓷纤维材料 | ||||
炉管材料 | 高纯石英管 | ||||
控温精度 | ±1℃ | ||||
测温元件 | K型热电偶 | ||||
温控仪表 | 厦门宇电智能微电脑PID温控仪表，SCR/SSR控制，PID参数自整定功能；可编程序30个时段，程序升温、程序保温、程序降温 | ||||
升温速度 | 1-25℃/min自由调节 | ||||
炉体结构 | 炉膛温控一体式结构，炉膛开合式设计；双层外壳，空气循环隔热 | ||||
密封性能 | 炉管两端装有304不锈钢快捷法兰，配套高温 PTE 垫圈，可在真空下进行工作， 密封真空度≤0.0001pa | ||||
气氛性能 | 法兰两端有进气口和出气口，压力表装在金属法兰上，精密针型阀可调节进气和出气量，可通入氮气、氩气、氢气等保护气体 | ||||
真空获得 | 配套立的真空获得系统，系统内配有1台双极旋片式真空泵和数字真空计，包括不锈钢波纹管和挡板阀等组件，系统真空度≤5pa，还可以选择分子泵机组 | ||||
气路系统 | 配套立的气路系统，系统有三路浮子流量计组成，有混气室，可单进单出也可三路气体混气后进入管式炉系统. 浮子流量计量程：60-600ml/min；也可选择自动质量流量计系统，控制精度±1.5%FS，重复精度±0.2%FS， 量程：一路0/100SCCM，二路0/200SCCM，三路0-500SCCM | ||||
设备保护 | 模块化控制，对工作过程中的超温、断偶会发出声光报警信号，并自动完成保护动作 | ||||
安全保护 | 在设备上装有空开断路器，如发生短路漏电情况时会自动弹开，能保护设备和操作人员的安全 | ||||
外壳 | 质冷轧钢板数控机床下料加工，经过焊接、打磨、抛光、磷化、酸洗、表面静电喷涂塑粉 | ||||
标准配置 | 1、炉体一台 2、温度控制器一台 3、电源线3米 4、热电偶一支 5、说明书一份 6、炉钩一把 7、高温手套一双 8、管堵二个 9、密封法兰一套 | ||||
冀公网安备13010402002588