Keithley 参数化测试系统

当今的模拟和功率半导体技术（包括 GaN 和 SiC）要求进行参数测试，以便zui大限度提高测量性能、支持广泛的产品组合以及zui大限度降低测试成本。40 多年来，吉时利已经在关键应用中解决了这些问题以及其他重要挑战，这些应用包括工艺整合、工艺控制监控、生产芯片分类（例如，晶片验收或已知的良好芯片测试），以及可靠性。

带有 KTE 7 软件的吉时利 S530 系列参数测试系统提供高速、完全灵活的配置，能够随着新应用的出现和需求变化而不断发展。S530 可进行高达 200 V 的测试，而 S530-HV 可以在任何引脚上进行高达 1100 V 的测试，与竞争解决方案相比，吞吐量提高了 50%。KTE 7 的新增功能是促成直接对接探测器和原有探头卡重新使用的可选系统测试头，支持汽车标准 IATF-16949 要求的系统级 ISO-17025 引脚校准，以及从原有的 S600 和 S400 系统进行迁移的zui简单、zui顺畅的路径，具有完整的数据关联性并提高了速度。

540 参数测试系统是一个全自动化的 48 引脚参数测试系统，适用于高达 3kV 的功率半导体器件和结构的晶片级测试。完全集成式 S540 已针对包括碳化硅 (SiC) 和氮化镓 (GaN) 在内的zui新复合功率半导体材料进行优化，可以在单次测试触摸中执行所有高电压、低电压和电容测试。

S500 集成式测试系统是高度可配置的、基于仪器的系统，适用于器件、晶片或暗盒级半导体检定。S500 集成式测试系统基于我们经过验证的仪器，提供创新的测量功能和系统灵活性，并且根据您的需求可进行扩展。独 有的测量能力结合强大而灵活的自动化检定套件 (ACS) 软件，提供市场上其他同类系统无法提供的广泛应用和功能。