原子力显微镜

Increase your productivity with our powerfully versatile atomic force microscope

Park XE15具有众多的独特功能，是处理多种样品的共享实验室、进行多变量实验的研究院以及晶片故障分析工程师的选择。同时，合理的价格和稳健的功能使之成为业内超值的大型样品原子力显微镜之一。

Unique MultiSample™ scan boosts research productivity

Park XE15能够一次性扫描和测量多个样品，让您的效率一高再高。您只需要将样品放入工作台，再启动扫描程序便可。该功能也可以让您在相同的环境条件下扫描样品，从而提高数据的准确性和稳定性。

Large sample size increases possibilities

与大多数的原子力显微镜不同，Park XE15可扫描大尺寸为200 mm x 200 mm的样品。这样既满足了研究员对扫描大样品的需求，也让故障分析工程师能够扫描硅片。

Features adaptable to any need

Park XE15配有绝大多数的扫描模式，可扫描各种尺寸的样品。得益于此，Park XE15是共用实验室的配置，能够满足每个人的需求。

The most convenient sample measurements with MultiSample™ scan

Park XE15 MultiSample™ scan system

• 一次性自动多样品成像

• 特别设计的多样品卡盘，可装载多达16个样品

• 全机动XY轴样品台，行程范围达150 mm x 150 mm

借助电动样品台，MultiSample™扫描模式能够允许用户自行编程，借助自动化步进扫描，实现多区域成像。

流程如下：
1.记录用户定义的多个扫描位置
2.在一个扫描位置成像
3.提升悬臂
4.将电动样品台移至下一个用户定义坐标
5.探针接近
6.重复扫描

记录多个扫描位置十分简单，您可以输入样品-样品台坐标或使用两个参考点校正样品位置。该自动化功能大大减少您在扫描过程中需要的工作，大大提高了生产力。