PFEIFFER泵

上海蕴匠贸易有限公司销售德国PFEIFFER泵、PFEIFFER真空泵、PFEIFFER

真空计、PFEIFFER隔膜泵、PFEIFFER电磁阀、PFEIFFER接头、PFEIFFER泄

露感应器等全系列产品。

PFEIFFER全称为Pfeiffer Vacuum Technology AG，总部位于德国阿斯拉

尔，创立于1890年，是真空技术与真空泵供应商。品牌凭借技术积淀，在

真空领域树立了品质标杆，尤其在涡轮分子泵的研发与生产上具有开创性

地位——1958年，其工程师Willi Becker博士发明了一台涡轮分子泵，奠

定了现代涡轮分子泵的技术基础。产品广泛应用于半导体、真空镀膜、粒

子加速器、分析仪器、化工等多个领域，为客户提供全链条真空解决方案

。

PFEIFFER真空泵产品体系丰富，涵盖旋片泵、涡轮分子泵、隔膜泵、螺杆

泵、罗茨泵等多个品类，各系列针对不同真空需求场景优化设计，兼具可

靠性与专业性。作为PFEIFFER真空的核心优势产品，涡轮分子泵属于动能

传输真空泵，通过转子叶片与气体分子的动量转移实现抽气，适用于高真

空场景，广泛应用于半导体、真空镀膜、粒子加速器等领域。

 核心技术

- 轴承技术：采用两种成熟设计——复合轴承悬浮（永磁轴承+陶瓷球轴

承，普发真空40多年前发明，已量产超100万台，可靠性高）和五轴主动

磁悬浮（数字电子控制电磁铁悬浮转子，无机械接触、免维护，无碳氢化

合物污染风险，抗振动性能优异）；

- 抽气性能：核心参数为抽气速度与压缩比，均与气体类型相关，对小分

子气体具有高压缩比，部分型号抽气速度可达2800 l/s，能实

现低于101 hPa的高真空；

- 驱动控制：配备电子驱动装置，支持90-240V AC及24V/48V DC供电，通

信接口涵盖RS-485、Devicenet、Profinet等，部分控制器可远程操作，

适配自动化系统集成。

PFEIFFER隔膜泵通过柔性隔膜上下运动产生真空，泵体采用密封设计，将

压缩腔与电机隔离，避免泵出介质被齿轮油污染，可生成干燥、无杂质的

真空环境。产品分为2级、3级、4级多种规格，少级型号抽速更高，多级

型号能实现更低压力；部分型号配备直流电机，能耗较标准型号降低80%

以上，节能优势显著。

适用场景包括真空过滤、真空蒸馏、涂层工艺等，

同时可作为涡轮分子泵的前级泵，或集成于质谱仪、检漏仪等小型分析系

统。针对腐蚀性气体场景，提供碳增强隔膜及耐腐蚀壳体版本，适配工艺

需求。

- 热传导式真空计：适用于粗真空至中真空区间（1000 hPa - 10?3 hPa

），基于气体热传导系数随压力变化的原理实现测量。产品采用抗污染探

头设计，部分型号配备温度补偿功能，可抵消环境温度波动对测量结果的

影响，适配含轻微可凝性气体的工况，安装便捷且维护成本低。

- 电离式真空计：聚焦高真空区间（103 hPa - 1011 hPa），分为冷阴极

与热阴极两种类型。冷阴极型号采用磁控放电原理，抗污染能力强、使用

寿命长，无需加热灯丝，适合严苛工业场景；热阴极型号测量精度更高，

响应速度快，能捕捉真空度细微变化，广泛应用于实验室及高精度工艺场

景，部分型号具备灯丝保护功能，避免过载损坏。