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RTP快速退火炉
型号：RTP1100
用途：薄样品的极速升降温
规格：950*500*560mm
特点：可处理3.5英寸样品，升温速率50℃/S
此款设备采用了自主研发的智能AIO（All In One）控制系统，实现了炉膛自动左右移动，红外加热方式使得样品可以快速升温，样品加热到设定温度和时间后，炉膛自动移开样品加热区，实现样品的快速降温。选配的AIO智能控制系统不但实现了真空系统开启、保护气氛通断以及冷却气体通断的自动协调控制，而且还能自动平衡炉管内的压力大小，真正实现了操作方便，而且安全可靠。
主要特点
Ø 极速升温50℃/S；
Ø 双层炉管结构，气氛与样品接触更均匀；
Ø 直接测量样品表面温度，测温更精准；
Ø 炉膛根据设置可自动左右移动，可以满足更多的实验应用。
产品参数：
| 产品名称： | RTP快速退火炉 |
| 产品型号： | RTP1100 |
| 额定温度： | 1000℃ |
| 温场均匀性： | ±5℃ |
| 炉膛升温速率： | ≥50℃/S |
| Z快降温速率： | ≥10℃/S（空炉保温时间≤30S） |
| 操控系统： | 智能AIO操作系统 |
| 操作界面： | 7英寸触摸屏 |
| 预存曲线： | 可预存100条以上工艺曲线 |
| 曲线显示： | 可实时显示设定曲线和实际升温曲线 |
| 数据导出： | 可存储3个月以上温度数据，U盘导出EXECL表格数据 |
| 模拟老化功能： | 可设定循环加热次数，模拟老化实验 |
| 快冷功能： | 加热结束后炉膛自动移开，启动风扇对炉管散热。不破坏样品气氛环境 |
| 加热方式： | 短波红外线加热（卤素灯管） |
| 加热腔体结构： | 双层石英管 |
| 外管直径： | 100mm |
| 内管直径： | 80mm |
| 气体保护方式： | 内管进气，外管出气 |
| 超温保护： | 温度出现过高时切断主回路 |
| 式样有效空间： | 放置3.5英寸样片 |
| 真空系统： | 机械泵/分子泵机组（需要另行选配） |
| 整机真空度： | 机械泵≤5Pa，分子泵机组10-4Pa |
| 抽气端口尺寸： | KF16 |
| 供气口尺寸： | 1/4英寸双卡套 |
| 法兰冷却方式： | 水冷（可选配水冷机） |
| 真空显示： | 指针压力表 |
| 额定功率： | 15kw |
| 外形尺寸： | 950*500*560mm |
| 重量： | 50kg |
冀公网安备13010402002588