一、系统概述

工艺冷却水（PCW）系统，是半导体、PCB、新型显示面板等电子行业洁净厂房专属核心闭式循环冷却系统，主要为车间内精密工艺生产设备，提供恒温、恒压、高纯度、低杂质的循环冷却水。

系统通过隔离换热、自动控温、水质净化、稳压保护等功能，精准控制设备运行温度，杜绝因水温波动、水质污染导致的设备故障、工艺次品，是保障洁净厂房连续稳定生产的关键公用工程系统，全程采用闭式循环，无介质外漏，符合洁净厂房环保与生产管控要求。

二、PCW 系统工艺流程

本系统采用一次侧中温冷冻水 + 二次侧工艺冷却水双回路隔离设计，通过板式换热器实现冷量交换，两种介质互不接触，彻底避免交叉污染，完整工艺流程分为主回路与辅助回路两部分：

（一）一次侧冷冻水回路（冷源供给）

由厂区冷水机组制备 14℃中温冷冻水→经冷冻水泵加压输送→进入板式换热器一次侧通道→与二次侧工艺冷却水完成热量交换→释放冷量后温度升高至21℃→再回流至冷水机组重新制冷，持续为 PCW 系统提供稳定冷源，形成闭式制冷循环。

（二）二次侧工艺冷却水回路（核心循环）

膨胀水箱完成系统稳压、补水与初步排气→PCW 变频循环水泵（常规 N+1 配置）加压输送→袋式精密过滤器过滤水中颗粒、杂质→板式换热器二次侧吸收冷量，将水温降至18℃工艺设定值→车间主管网分流→楼层分支管路→各工艺设备换热，带走设备运行产生的热量→设备回水汇总至回水管网→自动加药装置投放缓蚀、阻垢、杀菌药剂，维护水质稳定→回流至膨胀水箱，完成全流程循环后后→工艺冷却水温升至23℃。

（三）系统辅助工艺流程

1. 排气流程：在管道最高点、设备顶部安装自动排气阀，运行过程中持续排出管路内积存空气，避免气堵、水泵气蚀，保障水循环通畅与换热效率；

2. 排污流程：管道最低点、过滤器、板式换热器底部均设置排污阀门，定期排放管路沉积杂质、污泥，维持系统内部清洁，保障冷却水水质；

3.自控流程：通过TT 温度传感器、PT 压力传感器、FT 流量传感器，实时监测水温、水压、流量参数，联动变频水泵、电动调节阀自动调节，同时配置高低压、高低温、故障停机联锁报警，实现系统全自动安全运行。

四、总结

通过以上流程，就可得整个工艺冷却水（PCW）系统循环路程图，如下：