
半导体封装持续往小型化、高密度引脚发展,引线框架黄光曝光,早已不是单片加工就能 hold 住良率与产能。 针对 IC 引线框架、分立器件铜带蚀刻制程,我们推出引线框架专用卷对卷曝光机。
面向 QFN、DFN、SOT、TO 等主流封装引线框架量产场景,放卷 - 张力稳控 - 视觉对位 - 曝光 - 收卷全自动化连续制程。
UVLED 平行冷光源,成像均匀稳定
采用 UVLED 平行光光学系统,照度均匀性高,冷光源发热低,从根源规避薄铜卷材受热形变;光源寿命长,对比传统汞灯大幅降低能耗与换灯维护成本,长时间批量生产能量波动小,线条边缘锐利,解析度稳定,适配精细引脚图形转移。
多段闭环张力 + 实时涨缩补偿
引线框架铜带薄、易拉伸跑偏,是行业共性难题。整机搭载伺服闭环张力系统 + 在线纠偏 + 涨缩补偿,长卷走料全程控形控位,薄铜带不拉伸、不起皱、不刮伤,整卷尺寸一致性可控,减少批量尺寸漂移报废。
高精度视觉对位 + 无缝拼接曝光算法
多组 CCD 视觉自动抓取 Mark 靶标,动态实时套刻对位;专属无缝拼接曝光控制逻辑,消除分段曝光接缝错位、断线缺陷,解决传统单片曝光上下料繁琐、拼接不良***的痛点,良率提升明显。支持单面 / 双面同步曝光,双面机型可一次完成正反图形转移,压缩制程节拍。
工艺兼容性强,产线友好易集成
兼容干膜、液态光致抗蚀剂,菲林版灵活切换,支持真空密着、非接触曝光模式;模块化结构,可对接上游卷对卷压膜机、下游显影蚀刻设备,适配洁净车间布局。参数可视化、故障自诊断,支持对接 MES,生产数据可追溯,换型调试快,小批量试产到大批量量产都能适配。
从分立器件到高密度 IC 引线框架,国产卷对卷曝光方案正在加速替代进口设备。我们提供设备定制、现场装机调试、工艺陪跑、长期售后全链路服务,可安排试样打样,现场验证良率与产能。
冀公网安备13010402002588